ZrON?低溫溫度計

ZrON?低溫溫度計不僅具有靈敏度高、熱響應快、工作溫區范圍大、熱循環重復特性好和機械強度高等特性，還具有低磁阻、耐輻照和年漂移量小等優點，可廣泛應用于低溫/超低溫系統、超導磁體系統、加速器、對撞機、同步輻射源、先進光源、中子源、高能物理、天文望遠鏡、宇宙微波背景輻射探測和量子計算等領域。

ZrON?低溫溫度計的溫度傳感單元是磁控反應濺射生長的ZrON薄膜，通過調節磁控反應濺射中氮氧化物比例和生長溫度來調節ZrON薄膜的溫度響應范圍，結合先進的光刻技術和封裝工藝，能夠實現從100mK-425K溫度范圍的全覆蓋。

ZrON?低溫溫度計有SD、Bobbin和Can三種標準封裝，根據阻值范圍和工作溫區的不同分為ZrON-10，ZrON-50，ZrON-70和ZrON-80四款，典型溫度準確性：±5mK@1K；±5mK @4.2K，±15mK@77K，±50mK@300K。

ZrON-10低溫溫度計典型阻值溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線.png

ZrON-10低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線.png

ZrON-10低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計與磁場相關的典型溫度誤差.png

ZrON-10低溫溫度計與磁場相關的典型溫度誤差(ΔT/T%)

ZrON?-10低溫溫度計與磁場相關的典型溫度誤差表(ΔT/T%)
	1T	2T	3T	4T	5T	6T	7T	8T	9T	10T	11T	12T	13T	14T
1.45K	0.34	1.19	2.49	3.46	4.16	4.79	5.44	6.06	6.69	7.29	7.94	8.57	9.26	9.94
2.5K	0.28	1.05	1.66	1.86	1.94	2.13	2.32	2.52	2.71	3.09	3.47	3.92	4.40	4.95
4.2K	0.05	0.08	0.11	0.13	0.16	0.18	0.24	0.30	0.36	0.47	0.59	0.68	0.77	0.90

ZrON-10，CX-1010， CX-1050三種溫度計與磁場相關的典型溫度誤差(ΔT/T%)對比

ZrON-50，70和80三種溫度計與磁場相關的典型溫度誤差(ΔT/T%)

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型阻值溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計在1.5K時與磁場相關的典型溫度誤差表(ΔT/T%)
	1T	2T	3T	4T	5T	6T	7T	8T	9T
ZrON-50	0.504	1.402	1.934	2.253	2.4862	2.752	3.052	3.398	3.797
ZrON-70	0.272	0.788	1.054	1.154	1.234	1.353	1.546	1.812	2.138
ZrON-80	0.024	0.081	-0.108	-0.407	-0.400	-0.860	-0.953	-0.933	-0.860