科技報(bào)國 德馨長存——追憶半導(dǎo)體所重要開拓者吳德馨先生
中國共產(chǎn)黨黨員，中國科學(xué)院院士，我國杰出的微電子科學(xué)家，中國科學(xué)院微電子研究所研究員，中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所初創(chuàng)與發(fā)展期的重要開拓者吳德馨先生，因病于2026年3月23日在北京逝世，享年90歲。
吳德馨先生與半導(dǎo)體所淵源深厚。半導(dǎo)體所見證了她科研之路的肇始、矢志報(bào)國的赤誠，也承載了她二十五載初心不改的堅(jiān)守、夜以繼日的耕耘。1986年她調(diào)離半導(dǎo)體所后，依舊關(guān)切研究所發(fā)展，傾力襄助國家半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展。她與半導(dǎo)體所王圩院士伉儷情深、同心報(bào)國，共同鑄就了我國科技界一段夫妻院士攜手奮進(jìn)的傳世佳話。
在此刊發(fā)紀(jì)念文章，緬懷她為半導(dǎo)體所的建設(shè)和我國半導(dǎo)體科技的發(fā)展所作的卓越貢獻(xiàn)，寄托我們的哀思。
以身許國 與所同行
1936年，吳德馨先生出生于河北樂亭。1961年，她從清華大學(xué)無線電電子工程系畢業(yè)，被分配到半導(dǎo)體所工作，在此拓荒攻堅(jiān)二十五載。
半導(dǎo)體所的創(chuàng)建歷程、吳德馨先生的求學(xué)抉擇與畢生追求，都與國家戰(zhàn)略布局緊密相連：1956年，我國十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃將半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)列入國家新技術(shù)“四大緊急措施”，并明確要加強(qiáng)半導(dǎo)體學(xué)科體系建設(shè)、系統(tǒng)培養(yǎng)專業(yè)人才。應(yīng)國家發(fā)展之需，1960年9月6日，半導(dǎo)體所正式成立。清華大學(xué)也響應(yīng)國家號召，強(qiáng)化電子物理、半導(dǎo)體等基礎(chǔ)學(xué)科方向建設(shè)。作為清華大學(xué)首批半導(dǎo)體專業(yè)的畢業(yè)生，她懷揣著助力國家半導(dǎo)體事業(yè)起步的初心投身半導(dǎo)體所發(fā)展。
吳德馨先生入所后與王守武、林蘭英、王守覺等學(xué)界前輩共事，深受他們的悉心指導(dǎo)與提攜。建所之初，半導(dǎo)體所成立有器件研究室，下設(shè)器件組等7個(gè)研究組，王守覺先生擔(dān)任室主任兼器件組組長，吳德馨先生為組員。自此，她開啟了與我國半導(dǎo)體事業(yè)同頻共振、共生共長的奮斗歷程。
圖1 王守武先生、吳德馨先生早年工作照片
初膺重任 成果斐然
從1962年至1964年，在王守覺先生的指導(dǎo)下，吳德馨先生作為課題負(fù)責(zé)人，承擔(dān)了十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃中“平面型高速開關(guān)晶體管的研究”，獨(dú)立自主地解決了提高開關(guān)速度的關(guān)鍵問題，開關(guān)速度達(dá)到當(dāng)時(shí)國際同類產(chǎn)品水平。該技術(shù)在中國科學(xué)院109廠和上海器件五廠進(jìn)行了推廣，打破了西方國家對我國的封鎖，為“兩彈一星”配套的“109丙”計(jì)算機(jī)提供了核心器件，產(chǎn)生了重大的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益，獲全國新產(chǎn)品一等獎(jiǎng)。
1965年，吳德馨先生從一名組員成長為器件研究室207組組長。在前期技術(shù)積累基礎(chǔ)上，上世紀(jì)60年代末，她帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)研制出介質(zhì)隔離數(shù)字集成電路與高阻抗運(yùn)算放大器模擬電路，為我國早期數(shù)字與模擬集成電路的自主研發(fā)奠定了基礎(chǔ)。
在事業(yè)收獲成就的同時(shí)，1966年，吳德馨先生與同為半導(dǎo)體所科研人員的王圩先生結(jié)為伉儷。從此，兩人相濡以沫、攜手前進(jìn)，始終把為祖國半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展奉獻(xiàn)力量作為奮斗目標(biāo)。
圖2 王圩、吳德馨夫妻早年合影
圖3 王圩、吳德馨夫妻金婚留念
沐春礪行 矢志登攀
1977年，全國自然科學(xué)學(xué)科規(guī)劃會(huì)議在北京召開，全國科研單位和高等院校的專家學(xué)者及管理干部共1200余人參會(huì)。會(huì)議結(jié)束時(shí)，中央領(lǐng)導(dǎo)人華國鋒、鄧小平等接見了參會(huì)代表。半導(dǎo)體所王守覺、吳德馨與魏策軍等作為參會(huì)代表受到了接見。這次會(huì)議是“科學(xué)的春天”到來之前的重要序幕，會(huì)上鄧小平同志針對我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的迫切需求提出，“你們一定要把大規(guī)模集成電路搞上去”。半導(dǎo)體所旋即掀起了攻克“4K位MOS動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲器”難關(guān)的高潮。
圖4?1977年全國自然科學(xué)學(xué)科規(guī)劃會(huì)議合影
王守覺（二排左二）、吳德馨（四排左一）、魏策軍（后排左一）
1978年底，半導(dǎo)體所承擔(dān)N-MOS 4096位動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲器（DRAM）研制重任，前任所領(lǐng)導(dǎo)劉再生同志親自掛帥，王守武先生擔(dān)任超凈線總負(fù)責(zé)人，吳德馨先生具體負(fù)責(zé)協(xié)同工作。作為表面器件研究室405組組長，她在王守武先生的指導(dǎo)下，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)開展工藝和版圖設(shè)計(jì)研究，研制成功N-MOS 4096 位動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲器（DRAM）。她還在國內(nèi)首次將正性膠光刻、干法刻蝕等先進(jìn)工藝用于大規(guī)模集成電路研制，獨(dú)創(chuàng)“露點(diǎn)法”檢測接觸孔質(zhì)量，大幅提升了大規(guī)模集成電路成品率。隨后，她與團(tuán)隊(duì)接續(xù)攻克16K、64K位DRAM 技術(shù)，推動(dòng)了我國存儲器技術(shù)迭代升級。
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圖5-1 半導(dǎo)體所圖形發(fā)生器制作的MOS 4K大改版原版
圖5-2 MOS 16K存儲器原版-多晶硅版
1980年，“N溝MOS?4096位動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲器提高管芯成品率的研究”“16K位MOS 動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲器”獲得中國科學(xué)院科技成果一等獎(jiǎng)。
圖6 ?1985年，前任所領(lǐng)導(dǎo)劉再生同志（前排右三）祝壽活動(dòng)合影。王守武（前排右二）、林蘭英（前排右一）、王守覺（前排左二）、王啟明（前排左一）、吳德馨（二排左一）
身赴新程 心系所興
1985年12月，經(jīng)國家科學(xué)技術(shù)委員會(huì)批準(zhǔn)，半導(dǎo)體所研制大規(guī)模集成電路的1條超凈線（吳德馨先生領(lǐng)導(dǎo)）、1個(gè)研究室和其他2個(gè)研究組與109工廠合并，于1986年1月成立了中國科學(xué)院微電子中心。吳德馨先生調(diào)任副主任，成為我國微電子科研機(jī)構(gòu)建設(shè)與技術(shù)攻關(guān)的核心帶頭人。
吳德馨先生雖然調(diào)離半導(dǎo)體所，始終心系自己事業(yè)啟航之地，感念研究所同仁昔日給予的關(guān)懷與指導(dǎo)。她視王守武院士為恩師，曾在《王守武院士科研活動(dòng)論著選集》撰文，深情回憶了王守武先生對青年科技人員的指導(dǎo)和幫助，感佩王先生學(xué)識淵博、堅(jiān)韌不拔、實(shí)事求是、嚴(yán)肅認(rèn)真、言傳身教、一絲不茍的優(yōu)秀品質(zhì)。她一如既往關(guān)心半導(dǎo)體所的建設(shè)與發(fā)展，通過項(xiàng)目評審、資源協(xié)調(diào)、學(xué)術(shù)合作、人才指導(dǎo)等多種方式給予大力支持。對于依托半導(dǎo)體所建設(shè)的國家光電子工藝中心，她憑借在集成電路工藝、超凈線建設(shè)與大規(guī)模集成電路研發(fā)方面的深厚積累，為中心建設(shè)提供權(quán)威指導(dǎo)，在評審驗(yàn)收等關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)發(fā)揮了重要作用。
圖7 國家光電子工藝中心“七五”建設(shè)引進(jìn)項(xiàng)目同行專家預(yù)驗(yàn)收會(huì)合影，王守武（前排左七）、吳德馨（前排左五）
圖8 ?國家光電子工藝中心“七五”建設(shè)引進(jìn)項(xiàng)目同行專家預(yù)驗(yàn)收，吳德馨先生（左二）現(xiàn)場考察
圖9 ?1992年1月7日，江澤民同志視察半導(dǎo)體所。溫家寶（前排右五）、周光召（前排右六）、黃昆（前排左四）、王守武（前排右二）、林蘭英（前排右三）、王守覺（前排左二）、吳德馨（二排左五）
圖10 ?2020年9月4日，半導(dǎo)體所召開紀(jì)念建所60周年學(xué)術(shù)研討會(huì)，吳德馨先生參會(huì)
吳德馨先生為祖國的半導(dǎo)體與微電子事業(yè)傾注了畢生心血，用一生詮釋了愛國奉獻(xiàn)、嚴(yán)謹(jǐn)求實(shí)的科學(xué)家精神。她的愛國情懷與崇高風(fēng)范，將激勵(lì)我們敢為人先、勇毅前行，為國家半導(dǎo)體科技事業(yè)作出積極貢獻(xiàn)。
吳德馨先生千古！德馨長存！
